Chloride-based silicon carbide CVD

Författare
Linköpings universitet Henrik Pedersen
(Henrik Pedersen., Härtill 7 uppsatser, Diss. Linköping : Linköpings universitet, 2008, Med sammanfattning på svenska)
Genre
Avhandlingar, theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University, LiU-Tryck 2008 Sverige, Linköping, Linköping 47 sidor illustrationer 978-91-7393-752-8